主要参数
| 参数 | 内容 |
|---|---|
| 工作波段 | 120–179 nm |
| 典型波长 | 126、130、149、157、172 nm |
| 增透典型反射率 | 157/172 nm小于0.5%（0°） |
| 高反典型反射率 | 126 nm大于84%、130 nm大于85%、149 nm大于91%、157 nm大于94%、172 nm大于95%（0°） |
| 镀膜工艺 | EBE |
| 偏振膜示例 | 157 nm，Rp小于0.3%、Rs大于87%，入射角72° |
| 可用基底 | CaF2等氟化物 |
| 表面粗糙度 | 可低于0.3 nm RMS |
| 波长与频率 | 157 nm HR、0°条件下大于400 mJ/cm²（15 ns脉冲）。 |